Podczas Innovation 2023 firma Intel zaktualizowała swoje plany wykorzystania urządzeń do litografii ultrafioletowej o dużej aperturze numerycznej (High-NA EUV) jako kamienia węgielnego swoich przyszłych procesów. Zgodnie z nowym planem masowa produkcja produktów w oparciu o technologię procesową Intel 18A będzie prowadzona na istniejącym sprzęcie, a do produkcji podzespołów kolejnych generacji wykorzystywane będą skanery o wysokim NA EUV.
Systemy High NA reprezentują nową generację maszyn do fotolitografii w ultratwardym ultrafiolecie. Wyposażone są w optykę o aperturze numerycznej 0,55 – w maszynach EUV pierwszej generacji zastosowano optykę o aperturze numerycznej 0,33. Skanery nowego typu będą niezastąpione przy wytwarzaniu produktów w standardach mniejszych niż 2 nm lub 20 Å. W 2021 roku Intel przedstawił mapę drogową, według której zobowiązał się do opanowania „5 procesów technicznych w 4 lata”, a także zapowiedział, że stanie się wiodącym klientem maszyn High-NA EUV firmy ASML i otrzyma pierwszy egzemplarz produkcyjny takich maszynę – musiała stanowić podstawę dla węzła Intel 18A.
Jednak po 2021 roku firma skorygowała swoje plany w „dobrym” kierunku – udało się wyprzedzić harmonogram, a w 2022 roku okazało się, że w drugiej połowie 2024 lub 2025 roku produkcja w technologii Intel 18A zostanie wstrzymana. Biorąc jednak pod uwagę fakt, że data premiery maszyn High-NA EUV z Holandii ASML nie uległa zmianie, pojawiło się pytanie, jak te układy wpisują się w tę strategię, a w szczególności w część dotyczącą węzła Intel 18A. Jak się okazało, technologia ta nie wiąże się już z pracą na zaawansowanym sprzęcie – masowa produkcja podzespołów w oparciu o procesor Intel 18A będzie prowadzona na istniejącym sprzęcie, czyli na skanerach ASML NXE 3000 EUV, a linia 18A stanie się jedynie testową podłoże pod sprzęt High-NA EUV – w produkcji masowej będzie wykorzystywane do produktów kolejnych generacji. Na razie produkty te określane są w dokumentach firmy pod ogólnym oznaczeniem Intel Next.
Dyrektor generalny Intela, Pat Gelsinger, powiedział w przemówieniu na Innovation 2023, że pierwsza maszyna High-NA EUV pojawi się pod koniec tego roku. Żartował nawet, że będzie to prezent bożonarodzeniowy dla dr Ann Kelleher, wiceprezes wykonawczy Intela i dyrektor ds. rozwoju technologii. Producent, jego zdaniem, poczynił spore postępy w pracach nad Intelem 18A: pakiet PDK 0.9 (Process Design Kit) jest już prawie gotowy – najnowsza wersja przedprodukcyjna. Uruchomienie masowej produkcji w oparciu o tę technologię planowane jest na pierwszy kwartał 2024 roku. Prawdopodobnie mówimy o procesorach z rodziny Panther Lake.