Chcąc odwrócić uwagę odbiorców od plotek na temat poszukiwania strategicznego partnera w dziedzinie produkcji układów chipsów, kierownictwo Intel w tym tygodniu powiedziała, że z powodzeniem korzysta z systemów litograficznych najnowszej generacji otrzymanych od ASML dla małych układów. Korzystając z technologii EUV, 30 000 silikonowych płyt udało się przetworzyć 30 000 płyt krzemowych na kwartał.
Intel otrzymał w ubiegłym roku sprzęt litograficzny ASML z wysoką otworem numerycznym (wysokie EUV), a dwie kopie systemów (przypuszczalnie Twinscan EXE: 5000) są już dostrojone do produkcji produktów pilotażowych w wystarczających ilościach. Według przedstawicieli Intela nowy sprzęt pozwala zmniejszyć liczbę etapów technologicznych w produkcji nowoczesnych układów i przyspieszyć produkcję zaawansowanych produktów. W ciągu siedmiu lat Intel przygotowywał się do uruchomienia takiej technologii.
We wczesnych stadiach eksperymentów pojawiły się problemy z niezawodnością systemów EUV, ale sprzęt klasy EUV, według wiodącego inżyniera Intela, Steve’a Carsona, jest dwukrotnie wiarygodny niż w decyzjach z poprzedniej generacji. Czas trwania cyklu produkcyjnego jest skrócony podczas przełączania na sprzęt o wysokiej otwórce numerycznej. Na przykład, jeśli wcześniej wydano trzy ekspozycje i 40 operacji technologicznych na przetwarzanie płyty krzemowej, teraz liczba tych ostatnich została zmniejszona do mniej niż dziesięć, a ekspozycja wymaga tylko jednej.
Jak wiadomo, Intel wykorzystał sprzęt klasy EUV o wysokiej zawartości EUV jako eksperymentalny w przygotowaniu do wydania układów za pomocą technologii Intel 18A, ale w wersji szeregowej nie będzie go używany. Należy go już wprowadzić po wydaniu układów z wykorzystaniem technologii Intel 14A nie wcześniej niż w przyszłym roku. Jednocześnie zostanie użyty nawet nowszy sprzęt ASML z rodziny Twinscan Exe: 5200, z których pierwsze komponenty firma powinna otrzymać w nadchodzących miesiącach. Konkurencyjne przejście TSMC do EUV o wysokiej zawartości A zostanie dokonane wcześniej niż w 2028 r., Jak się spodziewają eksperci.
